[实用新型]一种硅片超声波清洗装置有效
| 申请号： | 202122791064.6 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN216323811U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 吕明;郭城;李充;王永超 | 申请（专利权）人： | 济南科盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人： | 杜超 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片超声波清洗装置，包括清洗罐，清洗罐的下端固定连接有多个支撑地脚，所述清洗罐的上方设置有进液管，所述进液管的一端固定连接有第一电磁阀，所述进液管的下端固定连接有多个喷头，多个所述喷头的输出端均贯穿清洗罐的上端连接至其内部，所述清洗罐的下端一侧固定连接有排液管。本实用新型中，通过将硅片由置料口放入到置料筒内，再将置料筒通过滑槽与滑轨的配合放入到清洗罐内，关闭密封盖后，可以使用L型连接杆对密封盖进行限位，打开第一电磁阀和第二电磁阀，由进液管通入清洗液，清洗液经过喷头喷出，每个喷头下端对应一个置料口，从而可以由上端对硅片进行冲洗，去除硅片表面的灰尘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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