[实用新型]一种锂负极锂片表面高效镀膜装置有效
| 申请号： | 202122833634.3 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN216237248U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 徐立球;徐悟宇;江灿灿;邱耀忠;杜厚胜;韩永洪 | 申请（专利权）人： | 江苏德立信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港市中国（江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，包括溅射室内腔水平设置有镀膜隔板，两组镀膜隔板上下两端侧壁均匀开设有间隔腔孔，溅射室外端侧壁固定有电机安装板，电机安装板顶部安装有伺服电机，伺服电机输出端套接有两组主动连杆，两组主动连杆外壁分别套接有主动转轮和从动转轮，两组主动连杆转动贯穿溅射室侧壁并套接有转动螺杆，转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管，溅射挡管和镀膜隔板滑动插接，溅射室内腔两端侧壁安装有电动伸缩杆，两侧电动伸缩杆相对伸缩端设置有夹持紧固机构，本实用新型装置转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管，从而在镀膜隔板内腔水平移动，对间隔腔孔进行实时封堵调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 负极 表面 高效 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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