[实用新型]一种宽量程的MEMS热式质量流量计

摘要

本实用新型公开了一种宽量程的MEMS热式质量流量计，包括设有流道的气路座，流道包括主流道和分流道，主流道上设置进气口和出气口，主流道上设有文丘里管结构，分流道上设置第一封装板，主流道上设置第二封装板，第一封装板上封装有第一MEMS流量芯片，第二封装板上封装有第二MEMS流量芯片，第一封装板和第二封装板分别与主电路板连接。本实用新型所公开的热式质量流量计通过在主流道和分流道上分别设置MEMS流量芯片，可在待测流量较小时，通过主流道的MEMS流量芯片进行流量采集；在待测流量较大时，利用分流道上的MEMS流量芯片进行流量采集，从而解决现有技术无法兼顾大小流量的问题，实现宽量程、高精度测量。