[实用新型]一种晶圆表面处理设备

摘要

本实用新型公开了一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述烘干风机一端固定连接有排气管，所述排气管另一端固定连接有排气嘴；所述夹持机构包括有安装板，所述安装板一侧固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板另一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定连接有夹具，本实用新型具有烘干效果，且在加工时可将晶圆变换角度进行清理。