[实用新型]一种条形晶片用抛光装置有效
| 申请号： | 202122895198.2 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN216830231U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 廖彬;周铁军;曾琦;张昌文 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量，其技术方案：一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动，属于晶片抛光技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 条形 晶片 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导微电子科技有限公司，未经广东先导微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122895198.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于止动环的出料装置
- 下一篇：一种新型轿车车顶连接组件
