[实用新型]一种多晶硅工艺石英管湿法清洗装置有效
| 申请号： | 202122907195.6 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN216757502U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 王林 | 申请（专利权）人： | 吉林瑞能半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/032;B08B13/00 |
| 代理公司： | 吉林新发惠利知识产权代理事务所(普通合伙) 22216 | 代理人： | 纪尚 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型研发是一种半导体多晶硅工艺石英管湿法清洗装置，结构包括箱体，其底部四个角各安装一个支撑脚，箱体内设有排风系统与动力排风管道连接，并通过一个排风软管和三个排风窗口吸收作业时生成的尾气，箱体内下方设有一个清洗槽，清洗槽底板安装旋转机构和废液排放口，旋转机构一侧上方设有一个加液漏斗，加液漏斗通过夹板固定在清洗槽内，加液漏斗下方的清洗槽内安装有去离子水调节阀由电控阀控制开关，设备正面上方安装可编程控制器PLC一个，用来控制旋转机构动作，去离子水的供给和清洗槽内废液排放。本实用新型解决了业内多晶硅石英管不可以重复再利用的难题，以创新为依托挖潜提质降耗，提高企业核心竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 工艺 石英管 湿法 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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