[实用新型]均热板及抽真空系统有效
申请号: | 202122912762.7 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN216694603U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 李国颖;吴定原;杨书政 | 申请(专利权)人: | 台达电子工业股份有限公司 |
主分类号: | F28D15/02 | 分类号: | F28D15/02;H05K7/20 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 宋兴;臧建明 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种均热板,包含:第一盖体、第二盖体以及多个抽气通道;第一盖体与第二盖体对应接合,以定义出一腔室;多个抽气通道设置于第一盖体及第二盖体的侧边上;其中,气体由多个抽气通道被抽出,以及,对至少一个抽气通道进行注液,俾使一工作液体填充于腔室内,并封闭所述多个抽气通道。本实用新型提供的均热板,其具有多个抽气通道,可通过此多个抽气通道同时对均热板抽取气体,以加强抽真空效果,使抽真空程序更为快速、有效率。 | ||
搜索关键词: | 均热 真空 系统 | ||
【主权项】:
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