[实用新型]一种窄能谱离子束产生装置有效
| 申请号： | 202122914304.7 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN216435831U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 苏俊宏;李建超;杨利红;徐均琪;万文博;时凯 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;C23C14/22 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李凤鸣 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种窄能谱离子束产生装置。该窄能谱离子束产生装置由支架、离子源以及选能器组成，所述离子源可调整竖直方向角度地架设于支架上，在支架上部固定设置有选能器，所述选能器由电磁屏蔽罩和内部固定设置的选能组件构成，所述选能组件由两块永磁铁阵列、矩形磁靴、一对永磁隔绝板和电极组件组成。本窄能谱离子束产生装置由离子源产生宽能谱离子，离子束经选能器进行离子能量选择并最终输出，达到本装置输出的离子能量为0‑500eV可调；最小能带宽在50eV以内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 窄能谱 离子束 产生 装置 | ||
【主权项】：
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