[实用新型]一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件有效
申请号: | 202122925675.5 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN217297995U | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 吴付豪 | 申请(专利权)人: | 苏州中磐激光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/56 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 周高 |
地址: | 215200 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,本实用新型涉及冷却组件技术领域,电子枪真空镀膜机内部冷却组件,包括枪体、连接管和换热管,连接管位于换热管内部,且连接管前后两端分别贯穿出换热管前后两端,换热管固定于枪体内部,且换热管前后两端分别贯穿出枪体前后两端;枪体左右两侧均开有散热口,散热口内均嵌入有散热网,且枪体内壁左右两侧中间均安装有制冷片,制冷片外侧均与相近的散热网内壁相接触;换热管左右两侧均开有与其内部相通的冷气口;本实用新型的有益效果在于:可加快连接管整体冷却的速度,有利于高温的连接管迅速降温,可对连接管持续降温,从而可延长连接管的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子枪 真空镀膜 内部 冷却 组件 | ||
【主权项】:
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