[实用新型]一种具备多气体馈入点的匀流板

摘要

本实用新型公开了一种具备多气体馈入点的匀流板，包括：镀膜腔室以及设置在所述镀膜腔室内的匀流板组件，镀膜腔室包括上盖、底座以及侧腔壁，待镀膜元件放置在镀膜腔室内的底座上，匀流板组件设置在上盖与待镀膜元件中间位置，且匀流板边缘固定在侧腔壁上，上盖规律开设有若干进气口；所述匀流板上开设有若干通气孔，所述通气孔靠近所述上盖的上半部分为圆形孔，所述通气孔靠近所述待镀膜元件的下半部分为喇叭形孔，且喇叭形孔的扩散方向朝向所述待镀膜元件，本实用新型采用多气体馈入点，匀流板上部气体分布均匀，匀流板通气孔采用上半部分圆柱形孔下半部分喇叭状孔，气体经过喇叭孔时会进行发散，气体在流出匀流板时更加均匀。