[实用新型]一种用于晶圆老化测试的烘烤装置

摘要

本实用新型公开了种用于晶圆老化测试的烘烤装置，包括设备主体，所述设备主体内对称安装有两个烘烤支架，所述烘烤支架包含基板和放置板，所述放置板有若干个且均匀设置在基板的内端，其中一个所述基板的内端对称安装有两个一号连接板，两个所述一号连接板内均安装有一个限位柱，另一个所述基板的内端对称安装有两个二号连接板。本实用新型所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，属于烘烤装置领域，通过设置相互独立的两个烘烤支架，以及在烘烤支架上设置一号连接板、二号连接板，可以使得两个烘烤支架的间距能够根据需要进行调节，进而使得两个烘烤支架之间能够放置不同尺寸的晶圆，最终提升其实用性。