[实用新型]一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台

摘要

本实用新型金刚石膜生长领域，尤其涉及一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台。该样品台的基片放置在钼台的顶部凹槽内，钼台的底部中心沿竖向安装钼螺栓，上下相对水平设置的样品台支座、样品台陶瓷板，与左右相对设置的左L型立板、右L型涉及立板组合为长方体框架结构，钼台通过钼螺栓固定在水平设置的样品台陶瓷板上，样品台支座通过竖向设置的支撑螺栓固定在腔室底板上，直流电源依次通过电源线、航空密封接头、高温导线、钼螺栓与钼台相连接。本实用新型解决了微波法化学气相沉积金刚石薄膜沉积过程中反应腔体内基片表面增加负偏压电场的均匀性问题，制备出均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量金刚石单晶膜。