[实用新型]一种金刚石场效应晶体管有效
| 申请号： | 202122954839.7 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN216435909U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 操焰;吴勇;王东;陈兴;黄永;韩超;陈军飞;陆俊;季亚军;孙凯;汪琼 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学芜湖研究院 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/51;H01L29/78 |
| 代理公司： | 上海驷合知识产权代理有限公司 31405 | 代理人： | 于秀 |
| 地址： | 241002 安徽省芜湖市弋*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金刚石场效应晶体管，包括：金刚石衬底，金刚石衬底的第一表面为氢终端表面；源极、漏极和栅介质层，均设置于第一表面上，且栅介质层设置于源极和漏极之间，且栅介质层中部具有空气间隙；栅极，设置于栅介质层上，且栅极具有位于空气间隙上方的第一栅极部以及除第一栅极部以外的第二栅极部，第一栅极部远离栅介质层的表面以及第二栅极部远离栅介质层的表面位于同一平面，且第一栅极部的厚度小于第二栅极部的厚度。本实用新型中的器件，具有较高的截止频率，且制备难度较低，可重复性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
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