[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202122960022.0 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216391412U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;王琳琳;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，所述背板设有若干个通孔，所述MEMS麦克风还包括连接所述第一振膜、背板以及第二振膜的连接柱。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述连接柱连接所述第一振膜、背板和第二振膜，可提高所述MEMS麦克风的可靠性和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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