[实用新型]前驱体材料气化特性的测定装置有效
| 申请号： | 202122978230.3 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216285188U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈德义;颜桂花;钱瑶;王荣 | 申请（专利权）人： | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 239599 安徽省滁州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置，载气储罐，提供载气源；载气流量调节阀，调节载气流量，连接于载气储罐与载气流量计之间；载气流量计，控制载气流量，与前驱体钢瓶连接；气压计，测定前驱体钢瓶内被测样品的气相分压；温度计二，测定前驱体钢瓶内被测样品温度；前驱体钢瓶，置于恒温加热控温模块中，二者置于热重分析仪上；温度计一，测定恒温加热控温模块温度；混合气流量调节阀，调节样品气流量，连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间；颗粒度仪，测定液体前驱体材料汽化后气相产品的颗粒物含量；混合气流量计，与颗粒度仪连接；截止阀，连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。实现全方位评估前驱体材料气化特性。 | ||
| 搜索关键词： | 前驱 材料 气化 特性 测定 装置 | ||
【主权项】：
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