[实用新型]一种光罩储存设备

摘要

本实用新型属于光罩储存设备技术领域，尤其涉及一种光罩储存设备，包括一设备主体、一升降机构和一尺寸匹配机构，所述设备主体分隔有多个缓存料仓；所述升降机构设于所述设备主体的前侧面，所述升降机构上固设有一升降料架，所述升降机构带动所述升降料架上下移动；所述尺寸匹配机构可活动地置于所述升降料架上且所述尺寸匹配机构可活动地进出所述缓存料仓。该光罩储存设备容量大，自动化程度高，可适应多种规格光罩的取放存储需求。