[实用新型]一种提篮槽层延伸治具有效
| 申请号： | 202123002868.X | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN217199568U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 田周;吴世茂 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/52 | 分类号： | B65D25/52;B65D81/02 |
| 代理公司： | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人： | 张丽园 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种提篮槽层延伸治具，包括，安装在8寸提篮槽层主体上的防护组件，所述防护组件包括防护板，所述防护板上开设有防护槽，并且防护板的一侧设置有连接件，所述防护板位于所述8寸提篮槽层主体的上方，所述连接件为L形，并且连接件通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体和防护板连接，所述连接件共设置有两个，两个所述连接件对称分布在所述防护板的两侧，本实用新型提供的提篮槽层延伸治具，通过防护板上的防护槽，使得在对8寸提篮槽层主体内部的晶圆向上取出时，对取出的晶圆进行限位，避免了晶圆在8寸提篮槽层主体的内部向上抽拉过程中，容易触碰8寸提篮槽层主体内部的晶圆，进而容易造成8寸提篮槽层主体内部晶圆的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提篮 延伸 | ||
【主权项】：
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