[实用新型]一种磁控溅射过渡室有效
| 申请号： | 202123055675.0 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN216639625U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 罗晴 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;F26B5/14 |
| 代理公司： | 长沙都创云天知识产权代理事务所(普通合伙) 43274 | 代理人： | 夏轩 |
| 地址： | 361005 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体；多个第一转动辊设置于过渡室主体内壁的一侧，多个调节组件均设置于过渡室主体的内部，多个挤压组件均设置于多个调节组件的一侧，冷凝组件设置于过渡室主体内壁的底部，输送组件设置于过渡室主体的背面。本实用新型提供的一种磁控溅射过渡室，在过渡室主体内壁的底部设置冷凝组件可以将过渡室主体的内部空气冷却滑，在第一转动辊的表面设置调节组件配合挤压组件使用能够使织物与第一转动辊的接触面增大，在过渡室主体内壁的一侧设置输送组件能够将输送管内部的液体或者冷气输送至第一转动辊和第二转动辊的内部，有利于与织物接触时能对织物表面的水分进行去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 过渡 | ||
【主权项】：
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