[实用新型]一种平板式外延炉的吸盘装置

摘要

本实用新型提供了一种平板式外延炉的吸盘装置，属于半导体加工设备技术领域，包括吸盘，在吸盘内部设置有吸气腔，在吸盘的外侧设置有连接杆，连接杆为中空结构，且连接杆的一端固定在吸盘的外侧且与吸盘内部的吸气腔连通，在连接杆的另一端设置有吸气口，在吸盘上还固定设置有支撑杆，支撑杆为中空结构支撑杆的一端固定连接在吸盘上且与吸盘内部的吸气腔连通，本实用新型通过将支撑杆的另一端与吸气机构连接，使吸气机构的吸气端与支撑杆内部连通，从而使吸气腔内产生负压，可以将吸气孔移动至裂片处或石墨基座内部能够将裂片从石墨基座内部吸出，或将石磨基座内部的杂质颗粒吸除，操作过程简单、方便。