[实用新型]新型老化板有效
| 申请号： | 202123069612.0 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN217085118U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 孙亚 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型老化板，应用于半导体工艺设备技术领域。在本实用新型提供了一种新型老化板，在没有破坏现有老化板的设计的基础上，通过在老化板上每个芯片插座内设置若干个端子定位连接孔，从而实现将每个芯片插座上固定的待检测芯片的每个电极分别通过导线连接到与老化金手指和/或测试金手指连接的测试设备，最终实现了通过一块老化板既可以待检测芯片进行老化测试，由可以通过该块老化板对待检测芯片的参数进行其他可靠性测试，进而省去了待检测芯片的不停的从老化板上进行插拔等一系列操作流程，从而节省了人力并同时提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 老化 | ||
【主权项】：
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