[实用新型]一种易于调节的晶圆检测装置

摘要

本申请涉及晶圆检测技术领域，公开了一种易于调节的晶圆检测装置，包括基座，所述基座上表面滑动安装有检测台，所述检测台上表面旋转安装有转盘，所述基座一侧壁竖直固定有竖臂，所述竖臂顶端朝向基座的一侧水平固定有横板，所述横板下表面安装有光电探测器，所述竖臂朝向检测台的侧壁上设置有反光筒；所述检测台远离所述竖臂的一侧壁底部水平设置有滑轨，所述滑轨顶端通过支撑件安装有光源；所述基座上表面的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括固定在所述基座上表面边侧的固定块，所述固定块上水平螺纹穿设有螺纹杆一。该易于调节的晶圆检测装置，方便晶圆的固定，且具有良好的调节性能。