[实用新型]一种防脱落圆形晶圆载具有效
| 申请号： | 202123107514.1 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216510251U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 白雪山;沙峰 | 申请（专利权）人： | 太仓鼎函自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D61/00 | 分类号： | B65D61/00;B65D85/62 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防脱落圆形晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具底板和载具顶板，载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。本实用新型的优点在于：通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，在载具前侧设置有转动的晶圆防脱挡柱，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脱落 圆形 晶圆载具 | ||
【主权项】：
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