[实用新型]金属加热制备氧化亚硅的设备有效

专利信息
申请号: 202123122020.0 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN217313316U 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 安学会;程进辉;张鹏;李迎春;高光平;倪狄;韩彦超 申请(专利权)人: 上海煜志科技有限公司
主分类号: B01J3/04 分类号: B01J3/04;C01B33/113
代理公司: 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 代理人: 黄裕
地址: 201815 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种金属加热制备氧化亚硅的设备,是一种通过可以切换不同的真空装置,来提高真空度的金属加热制备氧化亚硅的设备;通过在真空装置上连接真空切换装置,真空切换装置根据真空度的不同切换控制不同的真空装置。以此达到通过切换不同的真空装置,来提高真空度,解决了在现有的制备氧化亚硅的设备中,普遍采用直接抽取真空的方式进行,导致真空度到达一定的程度后无法提高的技术问题,从而提升了生产效率。
搜索关键词: 金属 加热 制备 氧化 设备
【主权项】:
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