[实用新型]压电微机械超声换能器封装结构

摘要

本实用新型提供一种压电微机械超声换能器封装结构，所述压电微机械超声换能器封装结构包括：衬底，所述衬底包括相背的第一表面和第二表面；支撑层，其设置于所述第一表面上，形成有至少一个开口朝向所述第一表面的空腔，所述空腔的侧壁、所述空腔的顶壁与所述第一表面围设形成真空密闭腔；压电薄膜，其设置于所述支撑层上，且至少位于所述空腔上方，并直接受所述空腔的顶壁支承；焊垫，所述焊垫设置于所述支撑层上，且位于所述压电薄膜外侧；金属凸起，其设置于所述第二表面一侧；连接结构，所述连接结构电性连接所述金属凸起和所述焊垫；以及隔离层，所述隔离层设置于所述连接结构和所述支撑层之间，以使所述连接结构和所述支撑层不直接接触。