[实用新型]一种真空镀导电布用深冷装置有效
| 申请号： | 202123184106.6 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN217809651U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 蒙学良;王明树;景佰亨 | 申请（专利权）人： | 常州市飞荣达电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) 32397 | 代理人： | 陈丽云 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电磁屏蔽材料生产设备领域，一种真空镀导电布用深冷装置，所述真空镀导电布用深冷装置设置在真空设备内，包括深冷捕集铜管，所述深冷捕集铜管包括进管段、出管段、上盘管段、下盘管段和侧管段，所述深冷捕集铜管通过支撑座固定在第一真空腔壁上，所述上盘管段和下盘管段分别设在所述第一真空腔壁的上部和下部，所述上盘管段和所述下盘管段关于所述第一真空腔壁的中心线呈轴对称，所述上盘管段和所述下盘管段通过所述侧管段连接，所述上盘管段连接所述进管段。真空镀导电布用深冷装置安装在真空设备内，配合真空设备抽取残留气体，缩短抽真空的时间，获得洁净的真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 导电 布用深冷 装置 | ||
【主权项】：
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