[实用新型]一种激光干涉仪有效
申请号: | 202123203675.0 | 申请日: | 2021-12-17 |
公开(公告)号: | CN216348361U | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 赵婷婷;姬鸿巍;马兰兰 | 申请(专利权)人: | 西安玉沣精密测量科技有限公司 |
主分类号: | G01B9/02015 | 分类号: | G01B9/02015 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人: | 张玲 |
地址: | 712000 陕西省西安市西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种激光干涉仪,包括阶梯反射组件,阶梯反射组件包括n个独立的第二反射镜,其中n≥2,且每个第二反射镜均设置有移动器件,第二反射镜用于反射第一分光镜反射的激光发射组件射出的激光。其有益效果是:解决现有技术中对固定反射镜的制造精度要求高的问题,具有加工简单,制造成本较低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 干涉仪 | ||
【主权项】:
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