[实用新型]一种碳化硅粉料合成装置

摘要

本实用新型提供了一种碳化硅粉料合成装置，涉及半导体材料制备领域。本碳化硅粉料合成装置包括坩埚、输送组件和气体供应装置，坩埚包括坩埚腔体和设置于坩埚腔体开口处的盖体；输送组件设置于坩埚腔体内远离盖体的一侧，输送组件包括隔板和输送管，隔板将坩埚腔体沿轴向分隔为第一腔室和第二腔室，输送管连接于隔板并设置在第二腔室内，第一腔室和第二腔室之间通过输送管相连通；气体供应装置与坩埚腔体远离盖体的一端相连，用于向第一腔室供应保护气体。本碳化硅粉料合成装置易于拆卸组装，可根据实际生产需要进行调节，减少了反应过程中杂质的污染，提升了合成碳化硅粉料的纯度。