[实用新型]一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构

摘要

本实用新型属于硅片领域，具体的说是一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，包括竖直板和支撑板，所述竖直板固定设置在支撑板下侧壁一端，且支撑板上设置有多组均匀分布的支撑座，多组所述支撑座均平行设置，每个所述支撑座顶端固定连接有对应的插座，所述插座上插设有多组均匀分布的顶齿，多组所述顶齿均匀排列在插座上，且每个顶齿上均设置有对应的夹紧槽，相对的两个所述夹紧槽内共同夹紧有对应的硅片；提高了对硅片的保护，同时方便每次取放对应的硅片，而定位框和定位销的设置，可以在多个顶齿外侧上进行高度的调节，对顶齿支撑效果进行加强，避免顶齿变形，变相的提高了对硅片的顶起效果。