[实用新型]一种晶圆划片系统有效
| 申请号： | 202123253739.8 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216782302U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 倪洽凯;柳坤;王嘉炜 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 邓锋 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆划片系统，包括：晶圆背面检测装置、晶圆清洗装置及晶圆划片装置；晶圆背面检测装置用于对待划片的晶圆进行背面检测，判断晶圆背面是否干净；晶圆清洗装置用于对背面不干净的晶圆进行清洗；晶圆划片装置用于对背面干净的晶圆进行划片。通过上述晶圆划片系统，在进行划片前，利用晶圆背面检测装置判断晶圆背面是否存在微尘和/或异物，若存在则进一步转移到晶圆清洗装置中进行清洗，最终将不存在微尘和/或异物的晶圆转移到晶圆划片装置中进行划片；保证晶圆在划片时背面不存在有微尘和/或异物，避免在划片时出现晶圆碎裂的情况，提高了晶圆划片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 划片 系统 | ||
【主权项】：
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