[实用新型]一种气浮驱动托盘及气浮装置有效
| 申请号： | 202123280113.6 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN216614932U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 王慧勇;毛朝斌;胡承;吴彩庭 | 申请（专利权）人： | 季华恒一（佛山）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种气浮驱动托盘及气浮装置，包括托盘本体，用于承托衬底并带动衬底旋转，所述托盘本体的底部为圆形，所述托盘本体底部设置有若干圆周阵列的气流槽，所述气流槽为楔形槽或直线槽，所述楔形槽两侧壁的长度不相等，所述直线槽两侧壁的深度不相等，通过将所述气流槽设置为所述楔形槽或所述直线槽，并对所述楔形槽和所述直线槽的侧壁长度和深度进行设计，使得所述气浮驱动托盘的加工成本降低，提高外延工艺的效率，有效减少了驱动所述气浮驱动托盘所需要的气流消耗量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 托盘 装置 | ||
【主权项】：
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