[实用新型]一种自动移载式半导体选化剥膜设备有效
| 申请号： | 202123331917.4 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN216905483U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 魏齐 | 申请（专利权）人： | 凯亚姆系统科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;G03F7/42 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。本实用新型的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 移载式 半导体 选化剥膜 设备 | ||
【主权项】：
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