[实用新型]一种倾斜式平底花篮固定支架有效
| 申请号： | 202123357821.5 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN216773199U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄惠莺;李雄杰;薛正群 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 黄诗锦;蔡学俊 |
| 地址： | 362700 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种倾斜式平底花篮固定支架，包括倾斜底座以及设置在倾斜底座上的斜面，所述斜面一侧设有半圆压盖，所述斜面另一侧上部设置有固定座，所述固定座内铰接有延伸至斜面侧下部的滑轮轴。本装置设计合理，结构简单，将平底花篮在培养皿中过洗后，通过半圆压盖限位平底花篮的半边，通过滑轮轴挡住平底花篮的另外半边，避免平底花篮掉出，然后直接用水龙头冲洗晶圆片，冲洗更加干净，从而达到保护基地材料，避免倾斜晶圆片因未冲洗干净导致腐蚀结果不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 平底 花篮 固定 支架 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
