[实用新型]一种用于晶圆传输机械手的末端晶圆翻转机构

摘要

一种用于晶圆传输机械手的末端晶圆翻转机构，包括壳体、电机、小带轮、大带轮、片叉、回转式旋转接头和旋转轴，所述电机固定安装在壳体内部的一侧，大带轮设置在壳体内部的另一侧，小带轮与电机的输出轴连接，大带轮与小带轮通过同步带传动连接，旋转轴的一端穿设在大带轮上并与大带轮固定连接，旋转轴的另一端穿设出壳体后与片叉固定连接，所述回转式旋转接头的一端穿设有真空气管，回转式旋转接头的另一端与旋转轴连接，所述旋转轴中部设置有第一真空气道，片叉上设置有第二真空气道。本实用新型结构紧凑，尺寸小，气路布置简单，使用的真空气管较短，不会出现真空气管之间存在摩擦的情况，生产成本低，生产工序少，生产时长短。