[实用新型]一种晶圆用压力喷淋装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母，所述喷洒壳上侧设置有流砂管，所述流砂管外侧套装有固定座，所述喷洒壳右侧设置有出流板，所述出流板内开设有出流孔，所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板，所述喷洒壳下侧开设有凹槽，且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔，所述凹槽内设置有观察镜，所述螺纹孔内设置有六角螺母；本实用新型通过设置挡板，能使挡板过滤冲洗水中的沙石，防止出流板中的出流孔堵塞；并且再在喷洒壳下侧设置有观察镜，能方便操作人员随时对喷洒壳内的挡板进行观察，方便操作人员定期对挡板进行拆卸清洗，提高了其实用性。