[实用新型]外罩结构、真空发生器组件

摘要

本申请提供一种外罩结构、真空发生器组件，涉及太阳能电池生产领域。外罩结构包括罩体以及用于与排风装置连接的气动管，罩体内具有用于容纳本体的安装腔，罩体的一端具有排气口，气动管安装于排气口并与罩体密封连接，气动管与安装腔连通；罩体的侧壁具有用于卡住吸气管的第一通孔和用于卡住进气管的第二通孔，第一通孔、第二通孔均与安装腔连通，罩体的侧壁具有沿自身厚度方向贯穿的缝隙口，真空发生器能够通过缝隙口被装入安装腔内，缝隙口的两端延伸至第一通孔和第二通孔处。其能够减小真空发生器工作时造成扬尘的几率，从而能够减小对硅片污染的几率。