[实用新型]一种行星盘结构以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202123426293.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN217230906U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 谭子婷;齐意;易洪昇;焦威 | 申请（专利权）人： | 华为数字能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨泽;黄健 |
| 地址： | 518043 广东省深圳市福田区香蜜湖街道香*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种行星盘结构以及蒸镀设备，其中该行星盘结构包括：旋转盘和至少一个基片盘，每个所述基片盘与所述旋转盘之间设有第一转动连接件，所述第一转动连接件用于将所述基片盘与所述旋转盘之间转动相连，以使所述基片盘与所述旋转盘的中心轴线之间的夹角可变。本申请实施例中的该行星盘结构基片盘的角度可变，可以有效改善大尺寸基片镀膜时基片上金属薄膜厚度的均一性，提高基片镀膜的成品率，从而可以降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 盘结 以及 设备 | ||
【主权项】：
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