[实用新型]应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置

摘要

本实用新型公开了应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置,包括铜棍本体和基座，所述铜棍本体在面向基座的一端上设置有螺纹柱，所述基座在面向螺纹柱的一端内设置有螺纹槽；所述基座包括椭圆部分和等腰部分，所述椭圆部分和等腰部分为平滑过度且一体成型结构，所述基座上开设有三个通孔。本实用新型通过对铜棍本体的改进，可以有效的降低射频带的跳火现象，同时降低了更换的时间。