[实用新型]排布紧密的垂直腔面发射激光器有效
申请号: | 202123428907.2 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN216648857U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 邵泓焰;朱洪力;郭铭浩;林珊珊;白粉丽;王立;李念宜 | 申请(专利权)人: | 浙江睿熙科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/24 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 唐振北 |
地址: | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种排布紧密的垂直腔面发射激光器,包括:隔离层,隔离层包括多边形的主体部以及设置在多边形的各个角部的附加部;金属层,金属层具有多个间隔设置的P型接触电极,多个P型接触电极分别设置在多边形的主体部的不同的角部及对应角部的附加部上,且P型接触电极均朝向背离主体部的中心的方向延伸;电介质通孔层,电介质通孔层设置在P型接触电极远离主体部的一侧,电介质通孔层具有多个电介质通孔,多个电介质通孔与多个P型接触电极一一对应设置,以使得P型接触电极的至少一部分裸露;多个氧化沟槽,氧化沟槽的至少一部分位于相邻的P型接触电极之间。本实用新型解决了现有技术中垂直腔面发射激光器存在不能小型化的问题。 | ||
搜索关键词: | 排布 紧密 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】:
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