[实用新型]一种用于晶圆激光切割的固定装置有效
| 申请号： | 202123438233.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN216576151U | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;刘淳;宋民静;高晓斌 | 申请（专利权）人： | 镇江哈工大高端装备研究院 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/38;B23K37/047 |
| 代理公司： | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人： | 何春阳 |
| 地址： | 212000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆激光切割的固定装置，属于固定装置技术领域，通过将螺杆贯穿固定孔将工型固定架组件固定在工作台上，可以试下便捷的固定和拆卸，然后启动夹持驱动组件带动旋转盘组件运动，通过旋转盘组件带动U型夹持座组件运动对晶圆进行夹持，采用此种驱动方式更加的便捷结构简单，通过启动旋转驱动组件带动中空仓进行旋转从而可实现对晶圆水平方位进行旋转，从而实现了良好的方位调节的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 切割 固定 装置 | ||
【主权项】：
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