[实用新型]一种芯片测试用冷却系统有效

专利信息
申请号: 202123449190.X 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN216900712U 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 魏秀强;汪韧;余漫;施小磊;彭琪;夏俊杰 申请(专利权)人: 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
主分类号: G01R27/02 分类号: G01R27/02;G01R31/00
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 钟勤
地址: 430000 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请提供一种芯片测试用冷却系统,包括工作台和冷却组件,工作台包括第一底座、驱动部和夹持部,第一底座上设置有凸台,凸台的面积与待测试芯片的面积适配,驱动部与夹持部连接,凸台用于放置待测试芯片,驱动部用于驱动夹持部夹持固定待测试芯片;冷却组件包括半导体制冷片和水冷板,水冷板与第一底座连接,半导体制冷片被夹持固定于水冷板与第一底座之间,半导体制冷片的冷面连接第一底座,半导体制冷片的热面连接水冷板。克服了现有的冷却设备与底工作台连接结构复杂的问题,结构简单,方便安装和维护。
搜索关键词: 一种 芯片 测试 冷却系统
【主权项】:
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