[实用新型]芯片测试装置有效
申请号: | 202123455471.6 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN217360169U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李卫彤;陈荣;张欢欢;朱小龙 | 申请(专利权)人: | 和氏工业技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人: | 林丽映 |
地址: | 519090 广东省珠海市金湾区红旗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种芯片测试装置,包括工作台、测试盒、探针阵列、顶板、顶升控制机构、移动控制机构和容纳槽,测试盒和探针阵列分别设置在工作台上,且探针阵列与测试盒电连接,顶板在Z轴方向上位于探针阵列的下方,顶升控制机构可控制顶板在Z轴方向上移动,移动控制机构可控制顶板在Y轴方向上移动,容纳槽设置在顶板上,且容纳槽内填充有酒精。本实用新型芯片测试装置能够自动化对探针阵列进行清洁和降温,从而提高测试工作效率,且自动化程度高,能够有效降低人工的工作强度。 | ||
搜索关键词: | 芯片 测试 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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