[发明专利]一种晶体生长控制方法和系统在审
申请号: | 202180000165.7 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN112789371A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 王宇;官伟明;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B15/28;C30B28/10;C30B29/22;C30B29/32;C30B29/34 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 袁春晓 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本说明书实施例公开了一种晶体生长控制方法,包括:获取目标时间片内的实际晶体参数;获取目标时间片内的参考晶体参数;基于实际晶体参数和参考晶体参数,确定温度控制参数;基于实际晶体参数和参考晶体参数,确定提拉控制参数;分别基于温度控制参数和提拉控制参数,调节目标时间片之后的下一个时间片的温度和提拉速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 控制 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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