[发明专利]半导体器件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202180001585.7 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN113287200B 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 胡凯;黄敬源;叶朝栋;章晋汉 申请(专利权)人: 英诺赛科(苏州)科技有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/778;H01L21/335
代理公司: 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 代理人: 王琴;曹玉存
地址: 215211 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种半导体器件,包括第一氮基半导体层、第二氮基半导体层、一对第一电极、第二电极、掺杂的氮基半导体层和一对栅极电极。第二氮基半导体层设置在第一氮基半导体层上。第一和第二氮基半导体层共同具有有源部分和电绝缘部分,电绝缘部分是非半导电的并且围绕有源部分以在其间形成界面。第一电极设置在第二氮基半导体层上。第二电极设置在第二氮基半导体层上方且在第一电极之间。掺杂的氮基半导体层设置在第二氮基半导体层上方、在第一电极之间并围绕第二电极。栅极电极设置在掺杂的氮基半导体层上并且位于第二电极的相对侧。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
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