[发明专利]管芯的有源表面上方的流体流动通道在审

专利信息
申请号: 202180004201.7 申请日: 2021-02-19
公开(公告)号: CN114207789A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: A·埃玛迪;A·里瓦尔;A·阿甘;T·博佐格-格拉耶里 申请(专利权)人: 伊鲁米纳公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/473;H01L23/48;H01L23/488;H01L21/60
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 张维;郑振
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文提供的内容包括装置、传感器系统的各种示例以及用于制造装置、传感器系统的各方面的方法的示例。该方法可包括获得管芯。一个或多个电触点是该管芯的表面上可接近的。该方法还可包括在该管芯的下表面与基板之间的腔中形成底部填充层。该方法可包括通过将可固化材料沉积在该腔中的第一空间和第二空间中来形成流体扇出区域。该方法还可包括在该管芯的有源表面上方形成流体流动通道。
搜索关键词: 管芯 有源 表面 上方 流体 流动 通道
【主权项】:
暂无信息
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