[发明专利]高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法有效
| 申请号： | 202180005049.4 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN114303227B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 土居谦太;中村敏幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 洪磊 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种高频电力电路，包含第一天线电路(Lin,VCin1,VCin2)、第二天线电路(Lo,VCo1,VCo2)及控制部(51)。第一天线电路包含用于生成等离子的第一天线(Lin)、第一分配用电容器(VCin1)及第一可变电容器(VCin2)。第二天线电路包含用于生成等离子的第二天线(Lo)、第二分配用电容器(VCo1)及第二可变电容器(VCo2)。控制部依据生成等离子时的第一天线与第一可变电容器的串联部的电流与电压的相位差的检测结果，以该相位差变小的方式设定第一可变电容器的电容值。此外，控制部依据生成等离子时的第二天线与第二可变电容器的串联部的电流与电压的相位差的检测结果，以该相位差变小的方式设定第二可变电容器的电容值。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电力 电路 等离子 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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