[发明专利]陶瓷基座有效
申请号: | 202180005660.7 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN114557126B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 李柱声;裵瀚音 | 申请(专利权)人: | 美科陶瓷科技有限公司 |
主分类号: | H05B6/80 | 分类号: | H05B6/80;H01L21/67 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 安玉;宋玉环 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明关于一种陶瓷基座。本发明的陶瓷基座包括:绝缘板,其上设置有高频电极;连接至该绝缘板的轴;连接至该轴的纵向端的连接座;连接至该高频电极的第一杆和第二杆,穿过该轴的该纵向端并延伸至该连接座,以及设置在该连接座中的连接构件,其中该连接构件连接该第一杆和该第二杆。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 基座 | ||
【主权项】:
暂无信息
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