[发明专利]经由均质器运动的可变光束尺寸在审
| 申请号： | 202180010086.4 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN115023867A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | J·N·威尔金斯 | 申请（专利权）人： | 元素科学雷射公司 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;H01S3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于对材料进行烧蚀的烧蚀系统可包括激光源、一组均质化光学器件和均质化光学器件调节装置。激光源用于产生激光束。这组均质化光学器件接收激光束并且包括第一均质器和第二均质器。均质化光学器件调节装置承载均质化光学器件，均质化光学器件调节装置被配置为可选择地调节第一均质器和第二均质器中的至少一个的位置以改变激光束的尺寸，其中，激光束的尺寸的变化改变激光束的注量。烧蚀系统可被结合在基于激光烧蚀的分析系统中，其中，基于激光烧蚀的分析系统包括光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 经由 均质器 运动 可变 光束 尺寸 | ||
【主权项】：
暂无信息
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