[发明专利]用于等离子体处理室部件的钇铝涂层在审
| 申请号： | 202180010655.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN115003857A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 许临;大卫·约瑟夫·韦策尔;萨蒂什·斯里尼瓦桑;罗宾·科什伊;约翰·迈克尔·克恩斯;约翰·多尔蒂 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C23C24/08;C23C4/11;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理室的部件在至少一个表面上具有涂层，涂层包含钇铝。涂层为从氧化钇粉末和含铝粉末的粉末混合物所形成的气溶胶沉积涂层，且具有4:1至1:4的钇比铝的摩尔数比例。可对涂层进行退火以形成多孔性三元氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 部件 涂层 | ||
【主权项】：
暂无信息
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