[发明专利]发射辐射的设备和用于制造发射辐射的设备的方法在审

专利信息
申请号: 202180016169.4 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN115152018A 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 彼得·布里克;克劳斯·弗勒克;梅尔廷·莫里茨 申请(专利权)人: 艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司
主分类号: H01L25/075 分类号: H01L25/075;H01S5/42;H01L33/58;H01L27/15;H01S5/026;H01S5/183
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 支娜;蒋静静
地址: 德国雷*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提出一种发射辐射的设备,其具有多个发射器(1)和多个光学元件(2),其中发射器沿着第一发射器方向(dE1)以第一平均发射器间距AE1并且沿着倾斜于或垂直于第一发射器方向伸展的第二发射器方向(dE2)以第二平均发射器间距AE2设置,并且其中光学元件沿着第一光学方向(dO1)以第一平均光学间距(AO1)并且沿着倾斜于或垂直于第一光学方向伸展的第二光学方向(dO2)以第二平均光学间距AO2设置,并且其中满足以下四个条件中的至少一个条件:(i)NE1*AE1*cosφ=m2*AO1,(ii)NE2*AE2*sinφ=m4*AO1,(iii)NE1*AE1*sinφ=m1*AO2,和(iv)NE2*AE2*cosφ=m3*AO2,其中NE1是沿着第一发射器方向的发射器的数量,NE2是沿着第二发射器方向的发射器的数量,φ是在第一发射器方向和第一光学方向之间的角度,并且m1、m2、m3和m4分别是因数。此外,提出一种用于制造发射辐射的设备的方法,所述设备具有多个发射器和多个光学元件。
搜索关键词: 发射 辐射 设备 用于 制造 方法
【主权项】:
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