[发明专利]用于过程指标的感知过程控制的系统和方法在审
申请号: | 202180016587.3 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN115176204A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | M·拉兰纳加;D·格科鲁;A·伊普玛 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G05B19/418 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张启程 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文描述一种方法,所述方法包括:确定对象的状态的序列,所述状态是基于与所述对象相关联的处理信息来被确定的,其中所述状态的序列包括所述对象的一个或更多个未来状态;基于所述状态的序列内的所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态来确定与所述对象相关联的过程指标,所述过程指标包括对于所述状态的序列中的单独的状态来说,对所述对象的处理要求是否得到满足的指示;以及基于(1)所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态以及(2)所述过程指标,开始对处理的调整,所述调整被配置成针对所述状态的序列中的所述单独的状态增强所述过程指标,使得对所述对象的最终处理要求得到满足。 | ||
搜索关键词: | 用于 过程 指标 感知 控制 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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